干膜光致抗蚀剂由聚酯薄膜,光致抗蚀剂膜及聚乙烯保护膜三部分组成。干膜具有良好工艺性能、优良成像性和耐化学药品性能,在图形电镀工艺中,它对于制造精密细导线、提高生产率、简化工序、改善产品质量等方面起到了其它光致抗蚀剂所起不到作用。 光致抗蚀剂膜为干膜主体,多为负性感光材料,其厚度视其用途不同。干膜光致抗蚀剂制作是先把预先配制好感光胶在高清洁度条件下,在高精度涂布机上涂覆于聚酯薄膜上,经烘道干燥并冷却后,覆上聚乙烯保护膜,卷绕在一个辊芯上。应用干膜制造印制板特点有较高分辨率,一般线宽可做到0.1mm;干膜应用在图形电镀工艺中,电镀加厚在高而垂直夹壁问进行,在镀层厚度小于抗 蚀剂厚度时,可以防止产生镀层突延和防止去膜时抗蚀剂嵌入镀层下面,保证线条精度;干膜厚度和组成一致,避免成像时不连续性,可靠性高;应用干膜,大大简化了印制板制造工序,有利于实现机械化、自动化。 全水溶性干膜感光胶层组成有粘结剂、光聚合单体、光引发剂、增塑剂、增粘剂、热阻聚剂、色料、溶剂。粘结剂作为光致抗蚀剂成膜剂,使感光胶各组份粘结成膜,起抗蚀剂伪骨架作用,它在光致聚 合过程中不参与化学反应。光聚合单体是光致抗蚀剂胶膜主要组份,在光引发剂存在下,经紫外光照射发生聚合反应,生成体型聚合物,感光部分不溶于显影液,而未曝光部分可通过显影除去,从而形成抗蚀图像。光引发剂在紫外光线照射下,光引发剂吸收紫外光能量产生游离基,而游离基进一步引发光聚合单体交联。增塑剂可增加干膜抗蚀剂均匀性和柔韧性。增粘剂可增加干膜光致抗蚀剂与铜表面化学结合力,防止因粘结不牢引起胶膜起翘、渗镀等弊病。热阻聚剂在干膜生产及应用过程中,很多步骤需要接受热能,为阻止热能对干膜聚合作用加入热阻聚剂。色料为使干膜呈现鲜艳颜色,便于修版和检查而添加色料。溶剂为溶解上述各组份必须使用溶剂。通常采用丙酮、酒精作溶剂。 根据显影和去膜方法可把干膜分为溶剂型干膜、水溶型干膜、干显影或剥离型干膜三种类型。溶剂型干膜使用有机溶剂作显影剂和去膜剂,这两种溶 剂遇火不燃烧。水溶型干膜它包括半水溶性和全水溶性两种。干显影或剥离型干膜不需用任何显影溶剂,而是利用干膜感光部分与未感光部分对聚酯薄膜表面和加工工件表面附着力差别,在从曝光板上撕下聚酷薄膜时,未曝光不需要干膜随聚酯 薄膜剥离下来,在加工工件表面留下已曝光干膜;由此得到所需要干膜图像。
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