继台积电上周于技术论坛中广发MEMS英雄帖后，中芯MEMS部门升格为独立部门，以展现深耕MEMS市场决心。中芯表示，踏入此市场仅约1年，但预计2009年底前，已有3项商品已可进入大量投产，而市场上每项MEMS产品，中芯至少都有1个客户，因此对中芯来说，MEMS成长潜力值得期待。
台积电于上周举办技术论坛中对于MEMS市场相当看好，指出进入MEMS市场到现在为止已有7年，当中已累计出多项制程及IP技术，除此之外，台积电更已可提供标准制程(StandardProcess)，让MEMS客户可安心至台积电投片，因此特地于技术论坛中广发英雄帖，吸引各类MEMS公司下单。
为了不让台积电在MEMS专美于前，中芯近期特别将MEMS升格为独立部门，附属在中芯SoC技术发展中心下，而该部门主管将由一位资深厂长领军。
中芯表示，中芯采用成都8吋晶圆厂投产MEMS，目前为止已有1家欧洲及1家大陆MEMS客户进入量产阶段，市场人士猜测欧洲客户可能是意法半导体(STM)，中芯进一步表示，不仅如此，现阶段中芯更已与多家MEMS客户，共同在MEMS制程上研发，估计1~2年内将可望陆续开花结果。
中芯采取的制造流程则与台积电相同，MEMS与CMOS芯片制造过程中如硬将两种不同种类芯片摆在一起，到最后除容易出现干扰问题外，因CMOS芯片要求愈来愈小，但MEMS芯片却无法同步缩小，恐出现头大身小的现象。
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